中微公司(688012)

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中微公司:公司信息更新报告:收入实现高增,高端化+平台化战略稳步推进-20250420
开源证券· 2025-04-20 20:33
电子/半导体 中微公司(688012.SH) 收入实现高增,高端化+平台化战略稳步推进 2025 年 04 月 20 日 投资评级:买入(维持) | 日期 | 2025/4/20 | | --- | --- | | 当前股价(元) | 190.00 | | 一年最高最低(元) | 256.99/115.50 | | 总市值(亿元) | 1,182.49 | | 流通市值(亿元) | 1,182.49 | | 总股本(亿股) | 6.22 | | 流通股本(亿股) | 6.22 | | 近 3 个月换手率(%) | 82.17 | 股价走势图 数据来源:聚源 -30% 0% 30% 60% 90% 2024-04 2024-08 2024-12 2025-04 中微公司 沪深300 相关研究报告 《Q3 业绩同环比高增,刻蚀龙头高端 产品加速放量—公司信息更新报告》 -2024.10.31 《高研发助力长期成长,2024H1 新签 订单加速放量—公司信息更新报告》 -2024.8.24 《2024Q1 营收同比持续增长,高端刻 蚀设备快速放量—公司信息更新报 告》-2024.4.28 陈蓉芳(分析师) 陈瑜熙( ...
中微公司(688012):公司信息更新报告:收入实现高增,高端化+平台化战略稳步推进
开源证券· 2025-04-20 20:28
电子/半导体 中微公司(688012.SH) 收入实现高增,高端化+平台化战略稳步推进 | 日期 | 2025/4/20 | | --- | --- | | 当前股价(元) | 190.00 | | 一年最高最低(元) | 256.99/115.50 | | 总市值(亿元) | 1,182.49 | | 流通市值(亿元) | 1,182.49 | | 总股本(亿股) | 6.22 | | 流通股本(亿股) | 6.22 | | 近 3 个月换手率(%) | 82.17 | 股价走势图 数据来源:聚源 -30% 0% 30% 60% 90% 2024-04 2024-08 2024-12 2025-04 中微公司 沪深300 相关研究报告 《Q3 业绩同环比高增,刻蚀龙头高端 产品加速放量—公司信息更新报告》 -2024.10.31 《高研发助力长期成长,2024H1 新签 订单加速放量—公司信息更新报告》 -2024.8.24 《2024Q1 营收同比持续增长,高端刻 蚀设备快速放量—公司信息更新报 告》-2024.4.28 陈蓉芳(分析师) 陈瑜熙(分析师) chenrongfang@kysec.cn 证书 ...
中微公司(688012):持续研发投入,新品逐步起量
平安证券· 2025-04-19 22:55
报告公司投资评级 - 维持“推荐”评级 [1][8] 报告的核心观点 - 中微公司作为半导体设备国内领先企业,充分受益于半导体国产化,薄膜沉积设备及EPI设备产品研发进展顺利,结合订单交付情况略微调整盈利预测并新增27年盈利预测,维持“推荐”评级 [8] 根据相关目录分别进行总结 公司概况 - 行业为电子,大股东是上海创业投资有限公司,持股15.02%,总股本6.22亿股,总市值1182亿元,每股净资产31.71元,资产负债率24.7% [1] 财务数据 - 2024年实现营收90.65亿元(44.73%YoY),归属上市公司股东净利润16.16亿元(-9.53%YoY),扣非后归母净利13.88亿元(16.51%YoY),整体毛利率和净利率分别是41.06%(-4.77pctYoY)和17.81%(-10.67pctYoY) [7] - 预计2025 - 2027年营业收入分别为117.85亿元、153.20亿元、199.16亿元,净利润分别为23.63亿元、30.84亿元、40.59亿元 [6][8] 产品线情况 - 刻蚀类产品线不断丰富,国产替代稳步推进,CCP刻蚀设备产品不断完善,2024年生产付运超1200反应台,累计装机量超4000反应台;ICP刻蚀设备在50多个客户生产线量产,2024年客户端累计安装数达1025个反应台 [7][8] - MOCVD设备市场领先,红黄光LED设备开发顺利,用于蓝光照明、深紫外LED、Mini LED显示等产品持续服务客户,保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位,启动红黄光LED的MOCVD设备开发且进展顺利 [8] - 薄膜沉积产品推向市场,EPI进入客户端量产验证阶段,已开发出六款薄膜沉积产品,钨系列和金属栅系列产品通过验证获订单,EPI设备进入客户端量产验证阶段 [8] 费用与研发情况 - 2024年销售费用率、管理费用率和财务费用率分别为5.28%(-2.57pctYoY)、5.31%(-0.18pctYoY)和 - 0.96%(0.43pctYoY),费用率稳定 [7] - 2024年研发费用14.18亿元,较去年增长约6.01亿元,同比增长约73.59%,与国内外一流客户紧密合作,设备产品研发进展顺利、客户端验证情况良好 [7] 产业化建设情况 - 南昌约14万平方米、上海临港约18万平方米的生产和研发基地已投入使用,上海临港滴水湖畔约10万平方米的总部大楼暨研发中心在建设,将在广州增城区及成都高新区建造新的生产和研发基地 [7]
中微公司(688012):薄膜业务开始进入收获期 持续关注平台化进程
新浪财经· 2025-04-19 14:29
文章核心观点 公司2024年年报数据表现有喜有忧,营收增长但归母净利润有降有升,各产品收入情况不同,新产品有进展,预计25 - 27年收入和归母净利润增长,维持“强烈推荐”评级 [1][5] 2024年全年情况 - 实现营收90.65亿元,同比+44.73%;归母净利润16.16亿元,同比 - 9.53%;扣非归母净利润13.88亿元,同比+16.51% [1] - 刻蚀设备收入72.77亿元,同比+54.72%,LPCVD收入1.56亿元实现突破,MOCVD收入3.79亿元,同比 - 18.03% [1] - 前三大客户各自占比22.15%、21.23%、18.80% [2] 2024Q4单季度情况 - 实现营收35.58亿元,同比+60.11%,环比+72.76%;归母净利润7.03亿元,同比+12.24%,环比+77.32%;扣非归母净利润5.75亿元,同比+25.53%,环比+74.01% [3] - 刻蚀设备收入28.63亿元,同比+56.19%,环比+66.94%,LPCVD下半年收入1.28亿元,环比上半年0.28亿元大幅放量 [3] - 毛利率39.26%,同比 - 6.55pct,环比 - 4.47pct,Q4毛利率与Q2相当,系产品结构变动所致 [3] - 归母净利润率19.75%,同比 - 8.42pct,环比+0.51pct;扣非归母净利润率16.15%,同比 - 4.45pct,环比+0.12pct [3] 新产品进展 - 刻蚀方面,CCP存储领域超高深宽比CCP在先进产线规模化应用,大马士革工艺进入逻辑客户初步电性验证通过;ICP持续开发新品,量产刻蚀工艺覆盖率提升 [4] - 薄膜沉积方面,钨系列沉积设备通过关键存储客户端现场验证,机台送多个逻辑客户验证,LPCVD去年新签4.76亿元,金属栅系列产品进入客户现场验证,EPI进入客户量产验证阶段 [4] - PECVD Ti的α机台搭建完成,正在进行工艺开发 [5] - 24年成立超微半导体,重点开发电子束量检测设备,未来扩大对多门类量检测设备市场参与和覆盖 [5] 盈利预测与投资建议 - 预计25 - 27年收入119.43/156.56/197.10亿元,归母净利润23.12/32.41/41.02亿元,对应25年PE 51X,维持“强烈推荐”评级 [5]
突发!国产芯片设备巨头中微公司董事长尹志尧放弃美国籍,恢复为中国国籍|硅基世界
搜狐财经· 2025-04-19 14:19
文章核心观点 中微公司创始人尹志尧放弃美籍恢复中国国籍,公司受美国出口管制影响进行人员调整,2024年年报显示营收增长但净利润受研发投入影响下滑,同时对控股子公司超微公司增资以加快电子束检测设备开发 [2][4][6] 公司人员变动 - 中微公司创始人、董事长兼执行长尹志尧放弃美籍,恢复中国国籍,业内猜测或与美国商务部对华出口管制措施中的“美国人”条款有关 [2][4] - 2023年8月,公司三位美籍核心技术人员杜志游、麦仕义、李天笑因工作调整不再参与核心技术研发,不再认定为核心技术人员,但仍继续任职,同时新增六位核心技术人员 [5] - 2024年9月,两位美籍核心技术人员倪图强、杨伟因个人原因辞职,辞去副总经理、核心技术人员职务,辞职后仍在公司任职 [5] 公司业绩情况 - 2024年中微公司实现营收90.65亿元,同比增长44.7%,其中刻蚀设备贡献超72亿元,同比增长54.7%,过去四年收入年均复合增长率超40% [6] - 2024年公司净利润约16.16亿元,同比下滑9.5%,主要受研发投入激增影响(研发费用24.5亿元,同比增长94.3%),扣非净利润约13.88亿元,增长16.5% [6] 公司业务发展 - 公司新产品研发流程显著加快,开发出“具有竞争力”的新设备并“顺利”实现商业化,用时不到两年 [6] - 公司控股子公司超微公司拟增资并引入新股东,增资完成后注册资本为1.6亿元,中微公司拟新增认缴注册资本5000万元,尹志尧拟新增认缴注册资本1000万元,增资及股权激励完成后,中微公司持股将下降至47.2% [6][7] - 尹志尧团队不到半年内第二次对超微公司进行增资,公司将加快开发电子束检测设备,目前国内主要零部件自主可控率已超90%,到2024年第三季度末可达100% [7][8] 行业发展目标 - 半导体设备领域中国离国际最先进水平有距离,但相信5 - 10年可达到国际最先进水平 [8]
中微公司:2024年报点评:营收快速增长,平台化布局加速-20250418
东吴证券· 2025-04-18 16:23
报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] 报告的核心观点 - 2024年中微公司营收和扣非归母净利润稳健增长,毛利率略降但研发投入大幅提升,存货和合同负债同比高增且在手订单充足,刻蚀产品持续领先、镀膜产品拓展顺利,维持对2025 - 2027年盈利预测并维持“买入”评级 [7] 根据相关目录分别进行总结 盈利预测与估值 |指标|2023A|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----|----| |营业总收入(百万元)|6,264|9,065|11,472|14,179|17,540| |同比(%)|32.15|44.73|26.55|23.60|23.70| |归母净利润(百万元)|1,786|1,616|2,432|3,402|4,454| |同比(%)|52.67|-9.53|50.53|39.89|30.92| |EPS - 最新摊薄(元/股)|2.87|2.60|3.91|5.47|7.16| |P/E(现价&最新摊薄)|66.74|73.77|49.00|35.03|26.76| [1] 市场数据 - 收盘价191.50元,一年最低/最高价115.50/256.99元,市净率6.04倍,流通A股市值和总市值均为119,182.66百万元 [5] 基础数据 - 每股净资产31.71元,资产负债率24.72%,总股本和流通A股均为622.36百万股 [6] 营收&扣非归母净利润情况 - 2024年营收90.65亿元,同比+44.7%,刻蚀设备收入72.77亿元占比80.3%、同比+54.7%,MOCVD收入3.79亿元占比4.2%、同比 - 18.0%,LPCVD设备首台销售营收1.56亿元;归母净利润16.16亿元,同比 - 9.5%,扣非净利润13.88亿元,同比+16.5%;Q4单季营收35.58亿元,同环比+60.1%/+72.8%,归母净利润7.03亿元,同环比+12.2%/+77.3%,扣非净利润5.75亿元,同环比+25.5%/+74.0% [7] 毛利率与费用率情况 - 2024年毛利率41.06%,同比 - 4.8pct,销售净利率17.81%,同比 - 10.7pct,扣非净利率15.31%,同比 - 3.7pct,期间费用率25.28%,同比+0.3pct;Q4单季毛利率39.26%,同环比 - 6.6pct/-4.5pct,销售净利率19.73%,同环比 - 8.4pct/+0.5pct,扣非净利率16.16%,同环比 - 4.5pct/+0.1pct [7] 存货与合同负债情况 - 截至2024Q4末合同负债25.86亿元,同比+235.2%,存货70.39亿元,同比+65.2%,其中发出商品余额34.47亿元,2024Q4经营性现金流转正至11.91亿元 [7] 产品情况 - CCP设备在逻辑和存储领域有进展,截至2024Q4交付4000个反应台;ICP设备客户端安装腔体数量近四年CAGR超100%,截至2024年累计安装超1025个反应台;MOCVD设备在第三代半导体设备布局有成果;薄膜沉积设备多种产品有验证和订单;量检测设备成立子公司规划覆盖多种设备 [7] 三大财务预测表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |资产负债表相关(百万元)|...|...|...|...| |利润表相关(百万元)|...|...|...|...| |现金流量表相关(百万元)|...|...|...|...| |重要财务与估值指标|...|...|...|...| [8]
中微公司(688012):2024年报点评:营收快速增长,平台化布局加速
东吴证券· 2025-04-18 14:57
报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] 报告的核心观点 - 中微公司2024年营收和扣非归母净利润稳健增长,毛利率略降但研发投入大幅提升,存货和合同负债同比高增且在手订单充足,刻蚀产品领先、镀膜产品拓展顺利,维持对2025 - 2027年盈利预测并维持“买入”评级 [7] 根据相关目录分别进行总结 盈利预测与估值 |指标|2023A|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----|----| |营业总收入(百万元)|6,264|9,065|11,472|14,179|17,540| |同比(%)|32.15|44.73|26.55|23.60|23.70| |归母净利润(百万元)|1,786|1,616|2,432|3,402|4,454| |同比(%)|52.67|-9.53|50.53|39.89|30.92| |EPS - 最新摊薄(元/股)|2.87|2.60|3.91|5.47|7.16| |P/E(现价&最新摊薄)|66.74|73.77|49.00|35.03|26.76| [1] 市场数据 - 收盘价191.50元,一年最低/最高价115.50/256.99元,市净率6.04倍,流通A股市值和总市值均为119,182.66百万元 [5] 基础数据 - 每股净资产31.71元,资产负债率24.72%,总股本和流通A股均为622.36百万股 [6] 营收&扣非归母净利润情况 - 2024年营收90.65亿元,同比+44.7%,刻蚀设备收入72.77亿元占比80.3%同比+54.7%,MOCVD收入3.79亿元占比4.2%同比 - 18.0%,LPCVD设备首台销售营收1.56亿元;归母净利润16.16亿元,同比 - 9.5%,扣非净利润13.88亿元,同比+16.5%;Q4单季营收35.58亿元,同环比+60.1%/+72.8%,归母净利润7.03亿元,同环比+12.2%/+77.3%,扣非净利润5.75亿元,同环比+25.5%/+74.0% [7] 毛利率与费用率情况 - 2024年毛利率41.06%,同比 - 4.8pct,销售净利率17.81%,同比 - 10.7pct,扣非净利率15.31%,同比 - 3.7pct,期间费用率25.28%,同比+0.3pct;Q4单季毛利率39.26%,同环比 - 6.6pct/-4.5pct,销售净利率19.73%,同环比 - 8.4pct/+0.5pct,扣非净利率16.16%,同环比 - 4.5pct/+0.1pct [7] 存货与合同负债情况 - 截至2024Q4末合同负债25.86亿元,同比+235.2%,存货70.39亿元,同比+65.2%,其中发出商品余额34.47亿元,2024Q4经营性现金流转正至11.91亿元 [7] 产品情况 - CCP设备在逻辑和存储领域有进展,截至2024Q4交付4000个反应台;ICP设备客户端安装腔体数量近四年CAGR超100%,截至2024年累计安装超1025个反应台;MOCVD设备在第三代半导体设备布局有进展;薄膜沉积设备多种产品有验证和订单;量检测设备成立子公司规划覆盖多种设备 [7] 三大财务预测表 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |资产负债表相关(百万元)|...|...|...|...| |利润表相关(百万元)|...|...|...|...| |现金流量表相关(百万元)|...|...|...|...| |重要财务与估值指标|...|...|...|...| [8]
中微公司:营收持续高增,设备平台化布局渐丰-20250418
国盛证券· 2025-04-18 11:23
报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [3] 报告的核心观点 - 中微公司2024年年报显示营收持续高增,设备平台化布局渐丰,预计2025 - 2027年营收和归母净利润将进一步增长 [1][3] 根据相关目录分别进行总结 财务表现 - 2024年公司实现营收90.65亿元,yoy + 44.7%,归母净利润16.16亿元,yoy - 9.5%,扣非后归母净利润13.88亿元,yoy + 16.5%,毛利率41.06%,净利率17.8%;研发投入达24.52亿元,yoy + 94.31% [1] - 24Q4实现营收35.58亿元,yoy + 60.11%,qoq + 72.76%,归母净利润7.03亿元,yoy + 12.24%,qoq + 77.32%,毛利率39.26%,净利率19.73% [1] - 预计2025 - 2027年实现营收120.7/158.0/205.4亿元,实现归母净利润25.5/35.6/48.5亿元,对应PE为46.7/33.5/24.6x [3] 设备业务 刻蚀设备 - 2024年刻蚀设备营收72.77亿元,同比增长54.72%,近四年收入年均增长超50%,可覆盖95%以上刻蚀应用需求 [1] - CCP设备2024年生产付运超1200反应台,创历史新高,较2023年增长逾100%,累计装机量超4000反应台,连续十年年平均复合增长率大于30% [8] - ICP设备在50多个客户生产线量产,2024年客户端累计安装数达1025个反应台,近四年年均增长大于100% [8] MOCVD设备 - 2024年MOCVD设备营收3.79亿元,保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位 [2] - PRISMO UniMax产品在Mini - LED显示外延片生产设备领域国际领先,Micro - LED应用设备样机Preciomo Udx验证顺利 [2] - 启动碳化硅功率器件外延生产设备开发,已付运样机至国内领先客户开展生产验证 [2] LPCVD设备 - 2024年LPCVD设备实现首台销售,全年设备销售约1.56亿元,累计出货量突破150个反应台,获约4.76亿元批量订单 [2] - 已开发出六款薄膜沉积产品推向市场,钨系列薄膜沉积产品通过关键存储客户端现场验证并获重复量产订单 [2] 股权激励 - 公司预计进行新一期股权激励,拟授予不超1200万股限制性股票,首次授予不超1000万股 [3] - 激励计划首次授予的限制性股票考核年度为2025 - 2028年,以2024年营业收入为基数,根据年度累计营业收入增长率确定公司层面归属比例,以对标企业算术平均增长率为考核目标 [3]
中微公司(688012):营收持续高增,设备平台化布局渐丰
国盛证券· 2025-04-18 10:53
报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [3] 报告的核心观点 - 中微公司2024年年报显示营收持续高增,设备平台化布局渐丰,预计2025 - 2027年营收和归母净利润将进一步增长 [1][3] 根据相关目录分别进行总结 财务表现 - 2024年实现营收90.65亿元,yoy + 44.7%,归母净利润16.16亿元,yoy - 9.5%,扣非后归母净利润13.88亿元,yoy + 16.5%,毛利率41.06%,净利率17.8%;24Q4营收35.58亿元,yoy + 60.11%,qoq + 72.76%,归母净利润7.03亿元,yoy + 12.24%,qoq + 77.32%,毛利率39.26%,净利率19.73%;2024年人均销售超400万元 [1] - 预计2025 - 2027年实现营收120.7/158.0/205.4亿元,实现归母净利润25.5/35.6/48.5亿元,对应PE为46.7/33.5/24.6x [3] 业务情况 刻蚀设备 - 2024年刻蚀设备营收72.77亿元,同比增长54.72%,近四年收入年均增长超50%,可覆盖95%以上刻蚀应用需求 [1] - CCP设备2024年生产付运超1200反应台,创历史新高,较2023年增长逾100%,累计装机量超4000反应台,连续十年年平均复合增长率大于30%;多款产品广泛应用于国内外一线客户生产线,部分产品进入验证或规模付运阶段 [9] - ICP设备在50多个客户生产线量产并验证更多工艺,2024年客户端累计安装数达1025个反应台,近四年年均增长大于100%,部分产品投入量产或认证,下一代设备正展开工艺开发 [9] MOCVD设备 - 2024年MOCVD设备营收3.79亿元,保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位 [2] - PRISMO UniMax产品在Mini - LED显示外延片生产设备领域国际领先,Micro - LED应用设备样机Preciomo Udx验证顺利,启动碳化硅功率器件外延生产设备开发并与多家客户洽谈,已付运样机至国内领先客户验证 [2] LPCVD设备 - 已开发出六款薄膜沉积产品推向市场,钨系列薄膜沉积产品通过关键存储客户端验证并获重复量产订单 [2] - LPCVD设备2024年首台销售,全年销售约1.56亿元,累计出货量突破150个反应台,获约4.76亿元批量订单,其他导体薄膜沉积设备将陆续进入市场 [2] 股权激励 - 预计进行新一期股权激励,拟授予不超过1200万股限制性股票,首次授予不超过1000万股,考核年度为2025 - 2028年,以2024年营业收入为基数,根据年度累计营业收入增长率确定公司层面归属比例,以对标企业算术平均增长率为考核目标 [3]
中微公司(688012):24Q4营收延续高增,新品进展亮眼
国投证券· 2025-04-18 10:09
报告公司投资评级 - 投资评级为买入 - A,维持评级,6 个月目标价 234.27 元,2025 年 4 月 17 日股价 191.50 元 [5] 报告的核心观点 - 2024 年中微公司营收高增得益于多款新型设备量产突破并形成重复性订单,但净利润受研发投入高增和 23 年出售股票高基数影响同比下滑;24Q4 营收和净利润均同比增长 [1] - 公司持续大力投入研发,加深平台化布局,新设立超微公司开发电子束检测设备 [2] - 刻蚀设备持续领先,LPCVD 产品拓展顺利,有望进一步打开成长空间;公司拟投建成都基地发力关键设备 [3][9] - 预计公司 2025 - 2027 年收入和归母净利润增长,采用 PE 估值法给予 2025 年 60 倍 PE,对应目标价 234.27 元/股,维持“买入 - A”投资评级 [10] 财务数据总结 整体财务表现 - 2024 年实现营收 90.65 亿元,同比 +44.73%;归母净利润 16.16 亿元,同比 -9.53%;扣非归母净利润 13.88 亿元,同比 +16.51%;24Q4 营收 35.58 亿元,同比 +60.11%;归母净利润 7.03 亿元,同比 +12.24%;扣非归母净利润 5.75 亿元,同比 +25.53% [1] 毛利率与费用率 - 2024 年综合毛利率 41.06%,同比 -2.75 pcts;专用设备/备用备件/其他产品毛利率分别为 39.80%/48.18%/58.30%,同比 -2.92/-0.13/+4.62 pcts [2] - 24 年期间费用率 25.28%,同比 -0.74 pcts;销售/管理/研发费用率分别为 5.28%/5.31%/15.64%,同比 -2.57/-0.17/+1.57 pcts [2] 未来财务预测 - 预计 2025 - 2027 年收入分别为 117.71 亿元、152.62 亿元、186.8 亿元,归母净利润分别为 24.3 亿元、34.02 亿元、45.41 亿元 [10] 产品业务总结 刻蚀设备 - 2024 年销售额约 72.77 亿元,同比 +54.72% [3] - CCP 刻蚀设备 24 年生产付运超 1200 反应台,逻辑领域 Primo SD - RIE 进入客户端且初步电性验证通过,存储领域 Primo UD - RIE 取得大规模应用 [3] - ICP 设备 24 年累计装机量达 1025 反应台,近四年年均增速超 100%,8 英寸和 12 英寸深硅刻蚀设备在成熟市场获重复订单,在 12 英寸 3D 芯片和欧洲客户产线获验证和认证机会 [3] 薄膜设备 - MOCVD 设备 24 年销售额约 3.79 亿元,同比 -18.03%,正开发新一代氮化镓功率器件 MOCVD 设备,预计 2025 年付运验证 [4] - LPCVD 为先进存储和逻辑器件开发的 6 种设备已进入市场,24 年收到批量订单约 4.76 亿元,全年销售约 1.56 亿元 [9] 公司发展规划 - 拟于 2025 - 2030 年投资 30.5 亿元建设成都半导体设备生产基地,2025 年开工,2027 年投产,2030 年实现年销售额 10 亿元目标,面向高端逻辑及存储芯片领域,布局 CVD、ALD 等关键半导体设备 [9]